大阳机电|关于钙钛矿平板涂布机的技术规格
研发型涂布机技术规格 |
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基板类别 |
经UV-O或Plsma处理的 FTO /ITO 等导电玻璃/浮法素玻璃 |
基板尺寸 |
300mm×300mm |
溶液黏度 |
~10cps |
涂层干膜厚度 |
300-1000nm |
最大运动速度 |
100mm/s |
注液精度 |
0.1uL/s |
涂布台平整度 |
3-5um |
刀头高度 |
0-50mm |
唇口平行度 |
≤2.5μm/m |
唇口直线度 |
≤2 μm/m |
模头内壁粗糙度 |
0.02~0.03μm |
模头垫片 |
70/100um可定制其它厚度 |
X轴运动方式 |
直线电机+精密滚珠直线导轨UP级,X轴定位精度优于10um |
Z轴运动方式 |
精密滚珠直线导轨UP级+um级精度位移传感器 |
预涂单元 |
设备带有预涂区功能,可通过触控面板控制预涂工艺参数 |
清洗单元 |
研发设备配备涂布头的清洗和存放机构 |
控制系统 |
10寸高清触摸屏操作,全中文界面操作,采用 PLC 可编程控制器 |
风刀 |
进气口压缩空气或氮气MPa级进气量。风速气流均匀,且风刀垂直高度和水平距离可单独调节和角度可调,可选配客户指定风刀品牌 |
洁净外罩 |
配备专业洁净外罩,可以控制涂布区域洁净度100级 |
定制化需求 |
设备可根据客户加装顶升机构和自动卸料单元 |
量产型涂布机技术规格 |
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基板类型 |
经UV-O或Plsma处理 FTO/ITO等导电玻璃/浮法素玻璃 |
基板尺寸 |
600mm×1200mm |
基板厚度 |
2.5-3.5mm |
溶液黏度 |
~10cps |
涂层干膜厚度 |
300-1000nm |
最大运动速度 |
1000mm/s |
注液精度 |
5uL/s |
涂布台平整度 |
3-5um |
刀头高度 |
0-65mm |
唇口平行度 |
≤2.5μm/m |
唇口直线度 |
≤2 μm/m |
模头内壁粗糙度 |
0.02~0.03μm |
模头垫片 |
70/100um可定制其它厚度 |
X轴运动方式 |
直线电机+精密气浮轴承,X轴定位精度优于10um |
Z轴运动方式 |
精密滚珠直线导轨UP级+um级激光位移传感器 |
预涂单元 |
设备带有预涂辊,且可以在触摸屏上设置预涂区参数 |
清洗单元 |
设备配备涂布头全自动清洗功能,PLC控制清洗参数 |
系统主机 |
10寸高清触摸屏操作,全中文界面操作,采用 PLC 可编程控制器 |
风刀 |
进气口压缩空气或氮气MPa级进气量。风速气流均匀,且风刀垂直高度和水平距离可单独调节和风刀角度可调,可选配客户指定风刀品牌进行配置 |
定制化需求 |
设备具备顶升机构和自动上下料机构 |