大阳

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钙钛矿涂布机

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钙钛矿涂布机

适用于300mm*300mm、300mm*400mm以及其它定制化基板尺寸的钙钛矿涂布

配备高精密注射泵，可根据需求提供不同容积针管，注液精度达0.1ul/s

客户定制化需求，设备可根据客户加装顶升机构和自动卸料单元

X轴配置，直线电机+光栅尺+精密滚珠直线导轨，X轴定位精度优于5um

Z轴配置，精密滚珠丝杆+直线导轨+微米级精度位移传感器，Z轴定位精度优于5um

洁净外罩，配备专业洁净外罩，可以控制涂布区域洁净度100级

提供其它定制化需求

涂布厚度：最薄50纳米

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