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性能特点
Performance features:
适用于300mm*300mm、300mm*400mm以及其它定制化基板尺寸的钙钛矿涂布
配备高精密注射泵,可根据需求提供不同容积针管,注液精度达0.1ul/s
客户定制化需求,设备可根据客户加装顶升机构和自动卸料单元
X轴配置,直线电机+光栅尺+精密滚珠直线导轨,X轴定位精度优于5um
Z轴配置,精密滚珠丝杆+直线导轨+微米级精度位移传感器,Z轴定位精度优于5um
洁净外罩,配备专业洁净外罩,可以控制涂布区域洁净度100级
提供其它定制化需求
涂布厚度:最薄50纳米
规格表
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0512-55380588
业务直线-徐洪斌 18913250235